Analyse av vanlig fordampningsbeleggsteknologi- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Analyse av vanlig fordampningsbeleggsteknologi

1. Motstandsfordamping Plating: Motstandsfordampningskilden brukes til å fordampe lave smeltepunktmaterialer, for eksempel gull, sølv, sinksulfid, magnesiumfluorid, kromtrioksid, etc. Resistance fordampningskilder er vanligvis laget av tungsten, molybden og tantal.

2. Elektronstråle fordampningsplatting : Etter at filmmaterialet er fordampet og fordampet av elektronstråleoppvarming, blir det kondensert på overflaten av underlaget for å danne en film, som er en viktig oppvarmingsmetode i vakuumfordampingsteknologi.

Det er mange typer slike enheter. Med bred anvendelse av tynn filmteknologi er ikke bare kravene til membraner forskjellige, men også kravene til kvaliteten på membranene er strengere.

Motstandsfordamping kan ikke lenger imøtekomme behovene for fordampning av noen metaller og ikke-metaller. Elektronstrålens varmekilde kan oppnå en mye større energitetthet enn motstandsvarmekilden, og verdien kan nå 104-109W/cm2, slik at filmen kan varmes opp til 3000-6000C.

Dette gir en bedre varmekilde for å fordampe ildfaste metaller og ikke-metalliske materialer som wolfram, molybden, germanium, SiO2, AI2O3, etc. Dessuten, siden materialet som skal fordampes, plasseres i en vannkjølt digelen, kan du unngå at den materialet kan være en materiale som kan være den materialen som kan være den materialen som kan være den materialen, og den materialet kan være en materiale som kan være viktig for å forbedre den materialen.

I tillegg kan varme direkte tilsettes overflaten av filmmaterialet, så den termiske effektiviteten er høy, og varmediring og varmestrålingstap er små.

3. Bueoppvarming Evamping Plettering: En oppvarmingsmetode som ligner på elektronstrålens oppvarmingsmetode er ARC -utladningsoppvarmingsmetoden. Det har også kjennetegnene ved å unngå forurensning av motstandsoppvarmingsmaterialer eller digelmaterialer, og har egenskapene til høy oppvarmingstemperatur, spesielt egnet for fordampning av ildfaste metaller, grafitt, etc. med høyt smeltepunkt og viss ledningsevne.

Samtidig er utstyret som brukes i denne metoden enklere enn det for elektronstrålens oppvarmingsenhet, så det er en relativt billig fordampningsenhet.

4. Laserstråle fordampningsplatting: Metoden for å bruke pulserende laser med høy effekt for å fordampe materialer for å danne tynne filmer kalles vanligvis laserfordamping

5. Høyfrekvente induksjon Oppvarming av fordampning av oppvarming: Bruk prinsippet om induksjonsoppvarming for å varme opp metallet til fordampningstemperaturen.

Digelen som inneholder filmmaterialet er plassert i midten av spiralspolen, og en høyfrekvent strøm føres gjennom spolen, slik at metallfilmmaterialet kan generere strøm for å varme seg opp til det fordamper.

Funksjoner ved induksjonsoppvarming fordampningskilde:

2. Temperaturen på fordampningskilden er ensartet og stabil, og det er ikke lett å produsere fenomen for aluminiumsfall.

3. Fordampningskilden lades på en gang, ingen trådmatingmekanisme er nødvendig, temperaturkontrollen er relativt enkel, og operasjonen er enkel

4. Kravene til membranmaterialets renhet er litt bredere.

Termisk fordampning Vakuumbeleggmaskin