Rengjøring av trinn på arbeidsstykket før belegg i vakuumbeleggmaskin

For å forbedre vedheftet og glattheten til den belagte filmen på overflaten av underlaget, så vel som filmens kompakthet, før underlaget blir hengt i vakuumbeleggmaskinen, må et foreløpig rengjøringstrinn utføres for å fjerne oljeflekkene, flekkene, støv, for å sikre at det er i en ren tilstog og deretter coating.

1. Vakuumoppvarming av rengjøring

Arbeidsstykket varmes opp under normalt trykk eller vakuum. Fremme fordampning av flyktige urenheter på overflaten for å oppnå formålet med rengjøring. Rengjøringseffekten av denne metoden er relatert til arbeidsstykkets omgivelsestrykk, lengden på retensjonstiden i vakuumet, oppvarmingstemperaturen, typen forurensninger og materialet i arbeidsstykket. Prinsippet er å varme opp arbeidsstykket. Fremme forbedret desorpsjon av vannmolekyler og forskjellige hydrokarbonmolekyler adsorbert på overflaten. Graden av desorpsjonsforbedring er temperaturavhengig. Under ultrahøyt vakuum, for å oppnå atomisk rene overflater, må oppvarmingstemperaturen være høyere enn 450 grader. Oppvarmingsrensemetoden er spesielt effektiv. Men noen ganger kan denne tilnærmingen også ha bivirkninger. Som et resultat av oppvarming kan det forekomme at noen hydrokarboner samles i større agglomerater og samtidig dekomponerer til karbonrester

2. Rengjøring av ultrafiolett bestråling

Bruker UV -stråling for å dekomponere hydrokarboner på overflaten. For eksempel produserer eksponering for luft i 15 timer en ren glassoverflate. Hvis riktig rengjørte overflater plasseres i en ozongenererende UV-kilde. En ren overflate kan opprettes på få minutter (prosess rent). Dette indikerer at tilstedeværelsen av ozon øker rengjøringshastigheten. Rengjøringsmekanismen er: Under ultrafiolett bestråling blir skittmolekylene begeistret og dissosiert, og generasjonen og eksistensen av ozon produserer svært aktivt atomoksygen. Spent skittmolekyler og frie radikaler generert ved skittdissosiasjon samhandler med atomisk oksygen. Enklere og mer flyktige molekyler dannes. Slik som H2O3, CO2 og N2. Reaksjonshastigheten øker med økende temperatur.

3. Utladningsrensing

Denne rengjøringsmetoden er mye brukt i rengjøring og avgassing av høyt vakuum og ultrahøye vakuumsystemer. Spesielt brukt i vakuumbeleggmaskiner. En varm ledning eller elektrode brukes som elektronkilde. Å bruke en negativ skjevhet på overflaten som skal rengjøres, kan oppnå gass desorpsjon ved ion bombardement og fjerning av visse hydrokarboner. Rengjøringseffekten avhenger av elektrodematerialet, geometrien og dets forhold til overflaten. Det vil si at det avhenger av antall ioner og ionenergi per overflateenhet. Dermed avhenger det av tilgjengelig elektrisk kraft. Vakuumkammeret er fylt med en inert gass (typisk AR -gass) ved et passende delvis trykk. Rengjøring kan oppnås ved ion bombardement ved glødutladning ved lav spenning mellom to passende elektroder. I denne metoden. Den inerte gassen ioniseres og bombarderer den indre veggen i vakuumkammeret, andre strukturelle deler i vakuumkammeret og underlaget som skal belegges, noe som kan gjøre noen vakuumsystemer fritatt for baking med høy temperatur. Bedre rengjøringsresultater for noen hydrokarboner kan oppnås hvis oksygen tilsettes den ladede gassen. Fordi oksygen kan oksidere visse hydrokarboner for å danne flyktige gasser som lett fjernes av vakuumsystemet. Hovedkomponentene i urenheter på overflaten av rustfritt stål høyt vakuum og ultrahøye vakuumkar er karbon og hydrokarboner. Generelt sett kan ikke karbonet i det flyktige alene. Etter kjemisk rengjøring er det nødvendig å innføre AR eller AR O2 blandet gass for glødutladning, slik at urenheter på overflaten og gassene bundet til overflaten på grunn av kjemisk virkning fjernes. I glødutladningsrensing. Viktige parametere er typen påført spenning (AC eller DC), størrelsen på utladningsspenningen, strømtettheten, typen gassladet og trykket. Varigheten av bombardementet. Formen på elektrodene og materialet og plasseringen av delene som skal rengjøres osv.

4. Gassskylling

(1) Nitrogenspyling

Når nitrogen adsorberes på overflaten av materialet, på grunn av den lille adsorpsjonsenergien, er overflatebehandlingstiden kort. Selv om det er adsorbert på veggen på enheten, er det lett å pumpes bort. Å bruke denne egenskapen til nitrogen for å spyle vakuumsystemet kan forkorte pumpetiden i systemet. Før vakuumbeleggmaskinen for eksempel settes i atmosfæren, fyll vakuumkammeret med tørt nitrogen for å skylle den og deretter fylle den i atmosfæren, kan pumpetiden til den neste pumpesyklusen bli forkortet med nesten halvparten, fordi adsorpsjonen av nitrogen er langt under vanndamp molekulen fylt nitrogen nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nit nits nitrogen er langt mindre enn vannet. adsorbert av vakuumkammerveggen. Siden adsorpsjonsstedet er fikset, er det fylt med nitrogenmolekyler først, og det er veldig få vannmolekyler adsorbert, og dermed forkorte pumpetiden. Hvis systemet er forurenset av oljesprut av diffusjonspumpen, kan nitrogenskyllingsmetoden også brukes til å rengjøre det forurensede systemet. Generelt, mens du baker og oppvarmer systemet, kan det å skylle systemet med nitrogengass eliminere oljeforurensningen.

(2) Reaktiv gassskylling

Denne metoden er spesielt egnet for intern vasking (fjerning av hydrokarbonforurensning) av store ultrahøye rustfritt stålvakuumbelegg. Vanligvis, for vakuumkamrene og vakuumkomponentene i noen store ultrahøye vakuumsystemer, for å oppnå atomisk rene overflater, er standardmetodene for å eliminere overflateforurensning kjemisk rengjøring, vakuumovnsteking, glødutladning og original energistasting vakuumsystemer og andre metoder. Rengjørings- og avgassingsmetodene beskrevet ovenfor er ofte brukt før og under montering av et vakuumsystem. Etter at vakuumsystemet er installert (eller etter at systemet er i drift), siden de forskjellige komponentene i vakuumsystemet er løst, er det vanskelig å avgas de forskjellige komponentene i vakuumsystemet. Når systemet (tilfeldigvis) er forurensede (hovedsakelig store atomtall) molekyler som hydrokarbonforurensning) vanligvis demontert og opparbeidet før installasjon. Med den reaktive gassprosessen kan du utføres in-situ online avgassing. Fjern forurensningen av hydrokarboner effektivt i vakuumkammeret i rustfritt stål. Rengjøringsmekanismen: I systemet er oksiderende gass (O2, N0) og reduserer gass (H2, N H3) sitert i systemet for å utføre kjemisk reaksjonsrensing på metalloverflaten for å eliminere forurensning, for å oppnå atomisk rengjøringsoverflater. Hastigheten for overflateoksidasjon/reduksjon avhenger av forurensningen og materialet i metalloverflaten. Overflatereaksjonen styres ved å justere trykket og temperaturen på reaksjonsgassen. For hvert underlag bestemmes de nøyaktige parametrene eksperimentelt. Disse parametrene er forskjellige for forskjellige krystallografiske orienteringer.

Grunnlagt i 2007 som forrige navn Huahong Vacuum Technology, er profesjonell Kina vakuumtilbehør leverandører and Vakuumtilbehør produsenter , inkludert, men ikke begrenset til sputteringssystemer, optiske beleggenheter, batchmetallisatorer, fysisk dampavsetning (PVD) -systemer, hardt og slitasje motstandsdyktig vakuumbelegg avsetningsutstyr, glass, PE, PC-substratbelegg, rulle-til-rullemaskiner for belegg av fleksible underlag. Maskinene brukes til et bredt spekter av applikasjoner beskrevet nedenfor (men ikke begrenset til) bilindustri, dekorative, harde belegg, verktøy og metallskjærebelegg, og tynnfilmbeleggingsapplikasjoner for industrielle og laboratorier, inkludert universiteter. Danko Vacuum Technology Company LTD er forpliktet til å utvide vår markedsgrenser ved å gi høye beretninger og hurransport av høye priser. Vårt firma er veldig fokus på ettersalgstjeneste i nasjonale og internasjonale markeder, og gir nøyaktige delbehandlingsplaner og profesjonelle løsninger for å dekke kunders behov.