Hvilke faktorer vil påvirke beleggets ytelse av vakuumbeleggmaskin?

Hvilke faktorer vil påvirke beleggytelsen til Vakuumbeleggmaskin ?

Hvis en vakuumbeleggmaskin ønsker å belegge en god film, må den sikre at mange faktorer er i normal tilstand, for eksempel vakuumbelegg, basismålavstand, fordampningstemperatur, underlagstemperatur, gjenværende gasstrykk og andre faktorer. Det er et avvik i en viss faktor. Det vil påvirke ytelsen til beleggslaget til vakuumbeleggmaskinen. Følgende er en vakuumredaktør for å forklare i detalj hvilke faktorer som vil påvirke beleggets ytelse til vakuumbeleggmaskinen. Jeg håper det kan hjelpe deg:

1. Fordampningsrate

Størrelsen på fordampningshastigheten har stor innflytelse på den avsatte filmen. Siden beleggstrukturen dannet av den lave avsetningshastigheten er løs og lett å avsette store partikler, for å sikre kompaktheten i beleggstrukturen, er det veldig trygt å velge en høyere fordampningshastighet. Når trykket på restgassen i vakuumkammeret er konstant, er bombardementhastigheten for bombardering av underlaget en konstant verdi. Derfor, etter valg av en høyere avsetningshastighet, vil restgassen som er inneholdt i den avsatte filmen reduseres, og dermed redusere den kjemiske reaksjonen mellom de resterende gassmolekylene og partiklene i det fordampede filmmaterialet. Derfor kan renheten til den avsatte filmen forbedres. Det skal bemerkes at hvis deponeringshastigheten er for høy, kan det øke den indre belastningen til filmen, noe som resulterer i en økning i feil i filmlaget, og til og med sprekker i filmlaget i alvorlige tilfeller. Spesielt i prosessen med reaktiv fordampning, kan en lavere deponeringshastighet velges for å muliggjøre reaksjonsgassen og de fordampede filmmaterialpartiklene til å reagere tilstrekkelig. Selvfølgelig bør forskjellige fordampningshastigheter brukes til forskjellig materialfordamping. Som et praktisk eksempel på hvordan en lav deponeringshastighet kan påvirke ytelsen til en film er avsetningen av en reflekterende film. For eksempel, når filmtykkelsen er 600x10-8cm og fordampningstiden er 3S, er refleksjonsevnen 93%. Imidlertid, hvis fordampningshastigheten blir bremset under samme filmtykkelse, tar det 10 minutter å fullføre filmavsetningen. På dette tidspunktet er tykkelsen på filmen den samme. Imidlertid har refleksjonsevnen falt til 68%.

2. underlagstemperatur

Underlagstemperaturen har også stor effekt på fordampingsbelegget. Restgassmolekyler adsorbert på underlagsoverflaten ved høye underlagstemperaturer fjernes enkelt. Spesielt er ekskludering av vanndampmolekyler viktigere. Videre er det ikke bare lett å fremme overgangen fra fysisk adsorpsjon til kjemisk adsorpsjon ved en høyere temperatur, og dermed øke bindingskraften mellom partikler. Videre kan forskjellen mellom rekrystalliseringstemperaturen til dampmolekylene og underlagstemperaturen reduseres, og dermed redusere eller eliminere det indre belastningen på film-substratgrensesnittet. I tillegg, siden underlagstemperaturen er relatert til den krystallinske tilstanden til filmen, har amorf eller mikrokrystallinsk belegg en tendens til å dannes lett under lave eller ingen oppvarmingsforhold på underlaget. Motsatt, når temperaturen er høyere, er det lett å generere et krystallinsk belegg. Å øke underlagstemperaturen er også gunstig for forbedring av de mekaniske egenskapene til belegget. Selvfølgelig skal underlagstemperaturen ikke være for høy til å forhindre gjenopplivning av det fordampede belegget.

3. Påvirkning av gjenværende gasstrykk i vakuumkammer på filmytelse

Trykket fra restgassen i vakuumkammeret har stor innflytelse på membranytelsen. Hvis trykket er for høyt, er ikke de gjenværende gassmolekylene bare enkle å kollidere med de fordampede partiklene, slik at den kinetiske energien til personene som skyter på underlaget reduseres, noe som påvirker vedheftet til filmen. Dessuten vil overdreven gjenværende gasstrykk påvirke membranens renhet og redusere ytelsen til belegget alvorlig.

4. Effekten av fordampningstemperatur på fordampingsbelegget

Effekten av fordampningstemperatur på filmytelse vises ved fordampningshastigheten som en funksjon av temperaturen. Når fordampningstemperaturen er høy, vil fordampingsvarmen avta. Hvis filmmaterialet fordampes over fordampningstemperaturen, kan til og med en liten temperaturendring forårsake en rask endring i fordampningshastigheten til filmmaterialet. Derfor er det veldig viktig å nøyaktig kontrollere fordampningstemperaturen under avsetningen av filmen for å unngå en stor temperaturgradient når fordampningskilden blir oppvarmet. For filmmaterialet som er lett å sublime, er filmmaterialet i seg selv valgt som varmeapparatet, og tiltak som fordampning er også veldig viktige. .

Ovennevnte fire aspekter er de vanlige faktorene som påvirker ytelsen til beleggslaget til vakuumbeleggmaskinen, og de er også de konvensjonelle påvirkningsfaktorene. Under beleggprosessen til vakuumbeleggmaskinen er det nødvendig å sikre at disse faktorene er i normal tilstand.