DK Arc Ion Coating

Bue ionbelegg

PVD-- Fysisk dampavsetning
En form for fysisk dampavsetning (PVD -belegg) er bue -belegg. Historien til PVD -belegg begynte å bruke ARC -teknologi, som har sin opprinnelse i buesveising.

Mål

Metallet som skal fordampes blir plassert som fast blokkering (mål) mot innsiden av et vakuumkammer. En glødutladning antennes og løper på målet, og etterlater et fotavtrykk. Små flekker med målmateriale med noen få μm diameter fordampes. Buenes bevegelse kan styres av magneter.

Plasmaklegg

Det fordampede ioniserte materialet brukes som plasmabelegg på et produkt som roterer inne i vakuumkammeret. Buebelegg brukes som verktøybelegg og komponentbelegg.

Eksempler på belegg

Eksempler på buebelegg er tinn, aitin, aicrn, tisin, ticn, crcn og crn belegg

Skjematisk syn på en PVD -lysbueprosess.

Karakterisert av lysbuebeleggsteknologi:

Høye deponeringshastigheter (1 ~ 3 μm/t) høy ionisering, noe som resulterer i god vedheft og tette belegg når målet er avkjølt, lite varme til underlaget genereres, til og med belegg ved temperaturer under 100 ℃ er mulig at flere sammensetninger av metaller kan fordampes, og etterlater det gjenværende solide målet ikke -sammensetningen av metaller. Katodene kan plasseres i hvilken som helst posisjon (horisontalt, vertikal, opp ned), noe som gjør fleksibel maskindesign mulig.

De viktigste ulempene med buebeleggsteknologi:

Begrenset type målmaterialer - bare metaller (ingen oksider) - som ikke har en for lav fordampningstemperatur på grunn av den høye strømtettheten, noe som er kastet ut som små flytende dråper.