Vanlige vakuumlekkasjedeteksjonsmetoder

Lekkasjedeteksjon med heliummassespektrometri

Denne teknologien er en uunnværlig teknologi innen vakuumlekkasjdeteksjon. Det er mye brukt i lekkasjdeteksjon på grunn av dens høye lekkasjedeteksjonseffektivitet, enkel drift, sensitiv instrumentrespons, høy presisjon og ikke Kina PVD -beleggssystemleverandører lett forstyrret av andre gasser. Helium massespektrometer lekkasjdetektor er et slags instrument for deteksjonsdeteksjon av gass basert på massespektrometri -prinsippet, som bruker helium som lekkasjeindikatorgass. Den er sammensatt av en ionekilde, en analysator, en samler, en kald katode -ioniseringsmåler, et massespektrometri -kammer, et eksosanlegg og en elektrisk del. Elektroner som sendes ut fra glødetråden i massespektrometri -kammeret svinger frem og tilbake i rommet og kolliderer med innendørsgassen og helium som kommer inn i rommet gjennom det lekker hullet for å ionisere til positive ioner. Disse heliumionene kommer inn i magnetfeltet under venstre og høyre hjerne til det akselererte elektriske feltet, og avleder på grunn av virkningen av Lorentz -kraft, danner en sirkulær bue -bane og endrer det akselererte elektriske feltet. Trykk gjør det mulig å påvise ioner av forskjellig masse ved å nå den mottakende polet gjennom magnetfelt og motta spor. Heliuminjeksjonsmetode og heliumabsorpsjonsmetode er de to ofte brukte metodene i lekkasjdeteksjon av heliummassespektrometer.