Diamondlignende karbon (DLC) PVD-belegg

Diamond-lignende karbon (DLC) belegg er et bestemt kompetanseområde for Richter Precision Inc. Blant PVD- og PACVD-beleggsammensetninger og teknologi skiller DLC-beleggene seg ut som en særegen kategori. Disse beleggene viser en ønskelig kombinasjon av en lav friksjonskoeffisient og høy mikroharde, noe som gjør dem effektive i mange tribologiske og slitasjeapplikasjoner.

DLC-belegg dannes når ioniserte og dekomponerte karbon- eller hydrokarbonarter lander på overflaten av et underlag med energi typisk 10-300EV. DLC -filmer kan ha eksepsjonell mekanisk (høy hardhet), optisk (høyt optisk båndgap), elektrisk (høy elektrisk resistivitet), kjemisk (inert) og tribologiske (lave friksjoner og slitekoeffisient) og kan avsettes ved lave substratstemperaturer (~ 200 ° C).

DLC -filmer er generelt amorfe (dvs. har ingen dominerende krystallinsk gitterstruktur) og består av en blanding av SP2 (grafitt) og SP3 (diamant) faser. Kontroll av film DLC beleggsmaskin Egenskaper er sterkt avhengig av fluksegenskapene til den valgte avsetningsteknikken (PVD-sputter eller fordampning og PA-CVD), metall og hydrogeninnhold i filmen, SP2: SP3-forholdet, substratforspenningsspenning, ionenergi og ionetetthet samt substrat temperatur. DLC-filmfriksjonskoeffisient mot stål varierer vanligvis fra 0,05-0,20, mens filmhardhet og SP3-innhold kan skreddersys for spesifikke applikasjoner. Metall og hydrogen som inneholder DLC (ME-DLC eller A-C: H: ME) viser hardhet i området 500-2000HV med 35% SP3, metallfri DLC (C-DLC eller A-C: H) typisk 1500-4000H og opptil 75% sp3, mens tetra-000 000-karbon.

Richter Precision Inc. tilbyr et komplett utvalg av DLC -fasesammensetninger, og derav et bredest mulig utvalg av valgbare mekaniske og fysiske egenskaper. Egenskapene til verktøyene og/eller applikasjonen vil avgjøre hvilken DLC -beleggstruktur som vil være best egnet. Se tabellen nedenfor for en komplett liste over våre tilgjengelige DLC -beleggsammensetninger.