Fordampningsvakuumbeleggmaskin og fysisk prinsipp- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Fordampningsvakuumbeleggmaskin og fysisk prinsipp

Fordampningen Vakuumbeleggmaskin er hovedsakelig sammensatt av et vakuumbeleggskammer og et vakuumpumpesystem. Det er fordampningskilder (dvs. fordampningsvarmere), underlag og underlagsholdere, elektrodestenger, strømforsyning, digler, underlagsberedere, eksosanlegg, etc. i vakuumkammeret.

Beleggmaterialet er plassert i fordampningskilden i vakuumkammeret. Under høye vakuumforhold blir fordampningskilden oppvarmet for å fordampe den. Når den gjennomsnittlige frie banen til dampmolekylene er større enn den lineære størrelsen på vakuumkammeret, vil atomene og molekylene i filmdampen fordampe fra fordampningskilden. Etter at kildeoverflaten slapp unna, blir den sjelden kollidert og hindret av andre molekyler eller atomer, og kan direkte nå overflaten av underlaget som skal beleses. På grunn av den lave temperaturen på underlaget, kondenserer damppartiklene i filmmaterialet på det for å danne en film.

For å forbedre vedheftet mellom de fordampede molekylene og underlaget, kan underlaget aktiveres ved passende oppvarming eller rengjøring av ion. Den fysiske prosessen med vakuumfordampingbelegg fra fordampning av materialer, transport til avsetning og filmdannelse er som følger:

1. Bruk forskjellige metoder for å konvertere andre former for energi til varmeenergi, varme opp filmmaterialet for å fordampe eller sublime, og bli gassformige partikler (atomer, molekyler eller atomgrupper) med en viss energi (0,1 ~ 0,3EV):

2. De gassformige partiklene etterlater overflaten av membranmaterialet og transporteres til overflaten av underlaget i en rett linje med en betydelig bevegelseshastighet uten kollisjon;

3. de gassformede partiklene når overflaten av underlaget kondens og nukleat og vokser til en solid film;

4. Atomene som utgjør filmen blir omorganisert og arrangert eller kjemisk bundet.