Hvordan administrerer DLC -beleggsmaskinen kjøleprosessen under belegget, spesielt for underlag som kan være følsomme for varme?

De DLC beleggsmaskin Inkluderer et dedikert kjølesystem designet for å regulere temperaturen under avsetningsprosessen. Dette systemet inkluderer ofte luft- eller flytende kjølekretser som sirkulerer avkjølingsvæsker rundt sensitive områder av maskinen, for eksempel underlagsholdere eller kammerveggene. Kjølesystemet sikrer at varmeoppbygging styres under beleggprosessen, og forhindrer at overdreven temperaturer påvirker underlaget. I systemer som bruker flytende kjøling, sirkuleres spesialiserte kjølevæsker gjennom rør eller varmevekslere for å spre varme effektivt. I motsetning til dette kan luftkjølingssystemer benytte høye strømningsvifter eller eksterne blåsere som direkte kjølig luft over oppvarmede komponenter, for eksempel underlaget eller kammeroverflaten, noe som sikrer at termiske gradienter ikke utvikler seg som kan påvirke beleggenhet.

For underlag som er følsomme for varme, for eksempel polymerer eller tynne filmer, integrerer DLC -beleggsmaskinen ofte presise temperaturovervåking og kontrollsystemer. Disse systemene bruker termoelementer eller infrarøde sensorer plassert i direkte kontakt med eller i nærheten av underlagene for å overvåke temperatursvingninger i sanntid. Basert på temperaturavlesningene justerer maskinen kjølehastigheter for å forhindre termisk skade. Bruken av kontrollert avkjøling forhindrer termiske spenninger som kan forårsake skjeving, sprekker eller andre former for nedbrytning av underlag. Temperaturkontrollerte trinn eller stativer kan brukes til å holde underlag ved en sikker temperatur under beleggprosessen. Disse stadiene er noen ganger utstyrt med sine egne uavhengige kjølemekanismer, og sikrer at varme fra kammeret ikke akkumuleres i sensitive områder.

I noen avanserte DLC-beleggsmaskiner kan det være dedikerte forvarmings- og etterbeleggingsfaser innlemmet i prosessstrømmen. Substrater kan være forsiktig forvarmet til en kontrollert temperatur før beleggprosessen begynner, noe som sikrer ensartet avsetning. Etter deponeringsprosessen initieres en gradvis kjølefase for å forhindre termisk sjokk for underlaget. Denne kjølefasen forekommer ofte i trinn, med kjølehastigheter nøye regulert for å unngå å indusere påkjenninger i materialet. Hele kjøleprosessen kan fint innstilt for å samkjøre med de spesifikke termiske egenskapene til materialet som blir belagt, noe som sikrer at det ikke oppstår brå temperaturendringer som kan føre til sprekker eller andre typer skader.

I DLC -beleggsmaskiner som bruker en vakuumavsetningsprosess, er vakuumkammerets temperaturstyring også kritisk for å kontrollere varmeoppbygging. Kammeret avkjøles for å forhindre at maskinkomponentene, for eksempel elektronpistolene eller katodene, overoppheting, noe som kan påvirke den generelle beleggets ytelse negativt. For sensitive underlag er kjølesystemet i kammeret designet for å lede kjølige gasser eller sirkulere væsker over kritiske områder der varme kan samle seg. Bruken av termiske skjold eller isolerende barrierer i kammeret hjelper til med å beskytte delikate underlag mot varmeeksponering ved å opprettholde et optimalt termisk miljø.

I noen spesialiserte DLC -beleggsmaskiner brukes kryogene kjølemetoder for å dempe varmeoppbygging ytterligere. Kryogen kjøling innebærer bruk av ekstremt kalde gasser, som flytende nitrogen, for raskt å lavere temperaturer under eller etter beleggprosessen. Denne teknikken er spesielt nyttig for underlag som er svært følsomme for varme, da den muliggjør ekstremt rask avkjøling, noe som reduserer risikoen for termisk skade. Kryogen kjøling hjelper også til å oppnå ensartede belegg ved å forhindre betydelig temperaturgradient under avsetning, noe som ellers kan føre til beleggdefekter eller uoverensstemmelser.