Hvordan løse ikke-ensartetheten av magnetron sputrede filmer?

, bør ensartetheten og retningen til magnetfelt sikres for å danne et relativt ensartet rommagnetfelt.

For det andre bør ensartetheten av lufttrykk sikres så langt som mulig. Når du designer vakuumkammeret, installasjonsposisjonen til vakuumpumpen, veien Fordampningsvakuumbelegg maskinfabrikk av prosessens inntak og utformingen av prosessrøret i kammeret bør vurderes.

For det tredje, fordi magnetfeltet og lufttrykket ikke kan være helt ideelt, kan magnetfeltet kompenseres ved ikke-ensartethet av lufttrykk for å gjøre den endelige filmen enhetlig.

For det fjerde er målbaseavstand også en viktig faktor som påvirker ensartethet.

Dele: