E -post: 
Tel:+86-13486478562
Språk Produktkonsultasjon
E -postadressen din blir ikke publisert. Nødvendige felt er merket *
1. Vakuumkammer
beleggutstyr Hovedsakelig har to former: kontinuerlig beleggproduksjonslinje og beleggmaskin med enkeltkammer, produksjon av rustfritt stål, Argon Arc-sveising, overflatekjemisk poleringsbehandling og forskjellige spesifikasjoner av flensgrensesnitt er sveiset på vakuumkammerkomponentene.
2, vakuuminnsamlingsdel
I vakuumteknologi er vakuuminnsamlingsdelen en viktig del. Anskaffelse av vakuum kan ikke oppnås ved et enkelt vakuumutstyr og metode. Flere pumper må brukes i kombinasjon, for eksempel mekaniske pumper, røtpumper, molekylære pumpesystemer, etc.
3, vakuummålingsdel
Vakuummålingsdelen av vakuumsystemet er å måle trykket i vakuumkammeret. Som en vakuumpumpe, kan ingen vakuummåler måle hele vakuumområdet, slik at folk har laget mange typer vakuummålere i henhold til forskjellige prinsipper og krav. Slik som termoelementmåler, ioniseringsmåler, Pirani -meter, etc.
4. Strømforsyningsdel
Målstrømforsyningen inkluderer hovedsakelig DC strømforsyning, mellomfrekvens strømforsyning, pulsstrømforsyning og radiofrekvens strømforsyning (RF). Vanlige strømforsyningsprodusenter inkluderer AE, ADL, Hotinger, etc.
5. Prosessgassinngangssystem
Prosessgasser, som argon (AR), Krypton (KR), nitrogen (N2), acetylen (C2H2), metan (CH4), hydrogen (H2), oksygen (O2), etc., er generelt levert av gassflasker. Gasstrykk reduserende ventil, gassstoppventil, rørledning, gasstrømningsmåler, magnetventil, piezoelektrisk ventil og deretter inn i vakuumkammeret. Fordelen med dette gassinngangssystemet er at rørledningen er enkel og tydelig, og det er enkelt å reparere eller erstatte gasssylinderen. Beleggsmaskinene påvirker ikke hverandre. Det er også tilfeller der flere beleggsmaskiner deler et sett med gass sylindere. Denne situasjonen kan sees i noen storskala belegningsverksteder. Fordelen er at det reduserer belegget av gassflasker, enhetlig planlegging og enhetlig oppsett. Ulempen er at på grunn av økningen i antall ledd, øker sjansen for luftlekkasje. Dessuten vil beleggsmaskinene forstyrre hverandre, og rørledningen til en beleggsmaskin kan lekke luft, noe som kan påvirke produktkvaliteten til andre belegningsmaskiner. I tillegg, når du bytter ut gasssylindere, er det nødvendig å sikre at alle maskiner er i en ikke-gass tilstand.
6. Mekanisk overføringsdel
Belegget krever at tykkelsen på periferien må være ensartet. Derfor må det være tre rotasjoner i beleggprosessen for å oppfylle kravene. Det vil si at mens det store arbeidsstykkebordet er nødvendig for å rotere (i), roterer det lille arbeidsstykkets transportør også (II), og selve arbeidsstykket kan rotere samtidig (III). I mekanisk design er det generelt et stort kjøreutstyr i midten av bunnen av det store arbeidsstykkets platespiller, og noen små stjernehjul henger sammen med det. Hvis produktet skal roteres, roteres arbeidsstykket generelt av en skiftgaffel.
7, Oppvarming og temperaturmålingsdel
Beleggutstyr har vanligvis varmeovner i forskjellige posisjoner, og termoelementer brukes til å måle og kontrollere temperaturen. Fordi termoelementets klemmeposisjon er forskjellig fra arbeidsstykkets stilling, kan ikke temperaturavlesningen være den sanne temperaturen på arbeidsstykket. For å måle den sanne temperaturen på arbeidsstykket, er det mange metoder, du kan installere testpapir med høy temperatur eller termoelementmåler på arbeidsstykket.
8. Ionevamping og sputteringskilde
Fordampningskilden til multi-bu-plettering er generelt i form av en rund kake, ofte kjent som et rund kakemål, og det er også rektangulære multi-bu-mål. En magnet er installert i målbasen. Ved å bevege magneten frem og tilbake, endres intensiteten til magnetfeltet, og bevegelseshastigheten og banen til ARC -stedet kan justeres. For å redusere temperaturen på målet og målbasen, må målbasen kontinuerlig leveres med kjølevann. For å sikre høy elektrisk og termisk ledningsevne mellom målet og målbasen, kan en tinnpakning også tilsettes mellom målet og målbasen. Magnetron sputringbelegg bruker generelt rektangulære eller sylindriske sputtende katoder.
9, vannkjølesystem
Generelt består av kaldt vanntårn, isvannsmaskin, vannpumpe, etc.
10, Industrial Control System
Tel: +86-13486478562
FAX: +86-574-62496601
E -post: 
Address: Nr. 79 West Jinniu Road, Yuyao, Ningbo City, Zhejiang Provice, Kina