Vakuumbeleggmaskin Hovedsakelig refererer til en type belegg som må utføres under et høyere vakuum, inkludert mange typer, inkludert fordampning av vakuumresistens, fordampning av elektronpistol, magnetron sputring, mbe molekylær bjelkepitaxy, PLD laser sputtering avsetning, ion det er mange slags bjelker. Hovedideen er delt inn i to typer fordamping og sputtering.
Drift av elektrisk kontrollskap 1. Slå på vannpumpen og luftkilden. 2. Slå på hovedstrømforsyningen. 3. Slå på strømforsyningen til vedlikeholdspumpen og vakuummåleren, vakuummålerposisjonen V1, vent på at verdien skal være mindre enn 10, og skriv deretter inn neste trinn. Det tar omtrent 5 minutter. 4. Slå på den mekaniske pumpen, pre-pumpen, slå på kraften til turbo-molekylpumpen og start den. Vakuummålerbryteren endres til V2 -posisjonen. Det tar omtrent 20 minutter å pumpe ned til under 2. 5. Etter å ha observert at avlesningen av den turbomolekylære pumpen når 250, slå av forhåndspumpen, slå på støttepumpen og den høye vakuumventilen for å fortsette støvsuging. Etter at vakuumet når et visst nivå, slå på den høye vakuummåleren til høyre for å observere vakuumet. Først etter at vakuumet når 2 × 10-3, kan elektronpistolens strømforsyning slås på.
DEF-6B Operasjon 1. Total strømforsyning. 2. Slå på elektronpistolkontrollen ⅰ og elektronpistolkontroll ⅱ Strømforsyning samtidig: Trykk på elektronpistolkontrollen ⅰ Strømforsyning, forsinkelse, forsinkelse, strømforsyning og beskyttelseslys er på. Etter tre minutter er forsinkelsen og beskyttelseslysene av. Hvis bakdøren ikke er lukket eller vannstrømningsreléet har svikt, vil beskyttelseslyset alltid være på. 3. Når høyspenningen er slått på, vil høyspenningen nå mer enn 10 kV, bjelkestrømmen kan justeres til omtrent 200 mA, gardinnettet er 20V/100mA, glødetrådstrømmen er 1,2A, og avbøyningsstrømmen mellom 1 og 1,7.
Avstengningssekvens 1. Slå av den høye vakuummåleren og molekylære pumpen. 2. Når molekylære pumpeskjermen når 50, slå av den høye ventilen, fronttrinnet og den mekaniske pumpen i sin tur. Denne perioden tar omtrent 40 minutter. 3. Når den er under 50, må du slå av vedlikeholdspumpen igjen.
Dele:
Produktkonsultasjon
E -postadressen din blir ikke publisert. Nødvendige felt er merket *