Hva er en magnetron sputtende vakuumbeleggmaskin, og hvordan fungerer den?
Magnetron sputtende vakuumbeleggmaskin er en topp moderne teknologi som brukes til tynnfilmavsetning på et bredt spekter av underlag. Men hva er det egentlig, og hvordan fungerer det?
I kjernen, den Magnetron sputtende vakuumbeleggmaskin er et kammer med høyt vakuum som inneholder et målmateriale, typisk et metall eller en legering, og et underlag som skal belegges. Prosessen involverer bombardement av målmaterialet av høye energiioner, som løsner atomer fra overflaten og avsetter dem på underlaget, og danner en tynn film.
En av nøkkelkomponentene i Magnetron-sputtende vakuumbeleggmaskin er Magnetron, som er en type plasmakilde som genererer et sterkt ionisert plasma i kammeret. Magnetronen består av en katode (målmaterialet), en anode og et magnetfelt. Magnetfeltet tjener til å begrense plasmaet og forbedre ioniseringen av gassmolekylene i kammeret, til mer effektiv sputtering.
Prosessen begynner med å pumpe ned kammeret til et høyt vakuum, typisk rundt 10^-6 torr. Målmaterialet blir deretter bombardert av ioner, som slår av atomer og skaper en fluks av partikler som blir avsatt på underlaget. Avsetningshastigheten og filmegenskapene kan kontrolleres ved å justere ionfluksen, målspenningen og trykket i kammeret.
En av fordelene med magnetron sputtende vakuumbeleggmaskin er dens allsidighet. Det kan brukes til å avsette et bredt spekter av materialer, inkludert metaller, legeringer, keramikk og halvledere. Den kan også brukes til å lage flerlags belegg, som kan ha unike egenskaper som forbedret hardhet, slitasje motstand eller optiske egenskaper.
En annen fordel med magnetron sputtende vakuumbeleggmaskin er den høye enhetlighetsnivået. Magnetfeltet i kammeret tjener til å fordele ionfluksen jevnt over overflaten av målet, til en mer jevn deponeringshastighet og tykkelse på filmen.
Avslutningsvis er Magnetron Sputtering vakuumbeleggmaskin en svært sofistikert teknologi som er mye brukt i bransjer som romfart, elektronikk og optikk. Evnen til å avsette et bredt spekter av materialer, lage flerlags belegg og produsere svært ensartede filmer gjør det til et uunnværlig verktøy for forskning og utvikling samt storstilt produksjon.
Multi-ARC-ion og sputtende belegg kan avsettes i et bredt spekter av farger. Rang av farger kan forbedres ytterligere ved å introdusere reaktive gasser i kammeret under deponeringsprosessen. De mye brukte reaktive gassene for dekorative belegg er nitrogen, oksygen, argon eller acetylen. De dekorative beleggene produseres i et visst fargeområde, avhengig av metall-til-gass-forholdet i belegget og strukturen til belegget. Begge disse faktorene kan endres ved å endre deponeringsparametrene.
Før avsetning rengjør delene slik at overflaten er fri for støv eller kjemiske urenheter. Når beleggprosessen har startet, overvåkes og kontrolleres alle relevante prosessparametere kontinuerlig av et automatisk datamaskinkontrollsystem.
• Filmfarge: Multi farger, pistol svart, titan gylden farge, rose gylden farge, rustfritt stålfarge, lilla farge, mørk svart, mørkeblå og andre flere farger.