Hva er arbeidsprinsippet for katodisk lysbue?

Først av alt er ARC -slående nål (anode) med positivt potensial nær målet (katoden) med negativt potensial. Når avstanden mellom anoden og katoden er liten nok, vil gassen mellom de to elektrodene bli brutt ned, og danner en buestrøm, som ligner buen som slår til elektrisk sveising. På dette tidspunktet blir en del av N2 ionisert for å danne nitrogenkationer og elektroner.

Tiltrukket av den elektriske feltstyrken, vil nitrogenkationen fly til katoden nær målet, og elektronet vil fly til buen. Imidlertid er ionens masser langt større enn elektronet. Derfor, under samme elektriske feltkraft, vil bevegelsesavstanden til elektronet være større enn kationen. Derfor, når elektronet når anoden, vil ikke ionet nå katodemålet, men vil fly til lysbue -tenningsnålen, det positive ionakkumuleringslaget dannes nær måloverflaten.

Avstanden mellom kationen og katodemåloverflaten er veldig liten, opp til mikronnivå. I henhold til E = U / D kan det sees at det elektriske feltet i rommet er høyt på dette tidspunktet, noe som vil "trekke" elektronene ut av målet. De "trukket" elektronene flyr fra katodemålet til det positive ionakkumuleringslaget, og danner en strøm. Stablingslaget er koblet til måloverflaten, og en bue genereres nær måloverflaten.

Samtidig vil de positive ionene bli tiltrukket av katodemåloverflaten, noe som gjør at de positive ionene bombarderer måloverflaten og produserer sputtering. Ettersom filmpartiklene enten fordampet eller sputret trenger å passere gjennom det positive ionakkumuleringslaget, og i prosessen med å fly ut av katodemåloverflaten, vil filmpartiklene bli påvirket av buen ved måloverflaten, så av partiklene som ankommer arbeidsstykket er ionisk tilstand.

Den negative forspenningsspenningen brukes vanligvis på arbeidsstykket, så de positive ionene flyr til arbeidsstykket under handlingen av elektrisk feltkraft, og bombarderer arbeidsstykket DLC beleggsmaskinprodusenter . Dette bombardementet vil forbedre overholdet av filmen og gjøre friksjonen tett, noe som er veldig gunstig for å forbedre kvaliteten på filmen.

Hvis du vil vite mer, kan du også kontakte oss.

Ningbo Danko Vacuum Technology CO., Ltd.

Sara

Telefon: 86-15867869979

E -post: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-15867869979