Hva er tynnfilmavsetning ved termisk fordampning?

En av de vanlige metodene for fysisk dampavsetning (PVD) er termisk fordampning. Dette er en form for tynn filmavsetning, som er en vakuumteknologi for å bruke belegg Fordampningsvakuumbelegg maskinleverandører av rene materialer til overflaten av forskjellige gjenstander. Beleggene, også kalt filmer, er vanligvis i tykkelsesområdet for angstrom til mikron og kan være et enkelt materiale, eller kan være flere materialer i en lagdelt struktur.
Materialene som skal brukes med termiske fordampningsteknikker kan være rene atomelementer inkludert både metaller og ikke -metaller, eller kan være molekyler som oksider og nitrider. Objektet som skal belegges blir referert til som underlaget, og kan være noen av et bredt utvalg av ting som: halvlederskiver, solceller, optiske komponenter eller mange andre muligheter.

Termisk fordampning innebærer oppvarming av et solid materiale inne i et høyt vakuumkammer, og tar det til en temperatur som gir noe damptrykk. Inne i vakuumet er til og med et relativt lavt damptrykk tilstrekkelig til å heve en dampsky inne i kammeret. Dette fordampede materialet utgjør nå en dampstrøm, som krysser kammeret og treffer underlaget, og holder seg til det som et belegg eller film.
Siden, i tilfeller av termisk fordampningsprosesser, blir materialet oppvarmet til smeltepunktet og er flytende, er det vanligvis plassert i bunnen av kammeret, ofte i en slags oppreist digelen. Dampen stiger deretter over denne bunnkilden, og underlagene holdes omvendt i passende inventar på toppen av kammeret. Overflatene som er ment å bli belagt, vender dermed ned mot det oppvarmede kildematerialet for å motta sitt belegg.
Trinn